发明名称 线锯方法
摘要 本发明提供一种方法,其系用来在切割基材时藉由增加切割浆料中磨料颗粒与切割线之缔合来增强线锯之切割性能,其改良之处系藉由在切割浆料中使用增稠剂或藉由增强磨料颗粒对切割线之吸引力而达成。
申请公布号 TWI393806 申请公布日期 2013.04.21
申请号 TW097128010 申请日期 2008.07.23
申请人 卡博特微电子公司 美国 发明人 南哲佑;凯文 摩根伯格
分类号 C30B35/00;B28D5/04;H01L21/304 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国