| 摘要 |
本发明提供一种制造薄膜电晶体阵列面板的方法，该方法包括：于一绝缘基板上形成一闸极线路；形成一闸极绝缘层；形成一半导体层；形成一资料导电层，其包括一资料线路和一汲极电极；沉积一钝化层；形成一光阻，其包括一位于该闸极线路之一末端部上的第一部份，一位于该汲极电极之上且比第一部份还厚的第二部份，以及一比第二部份还厚的第三部份；以该光阻作为蚀刻遮罩，利用蚀刻处理裸露出该钝化层中位于该光阻之第二部份下方的部份以及裸露出该闸极绝缘层中位于该光阻之第一部份下方的部份；形成第一接触孔和第二接触孔，分别裸露出该汲极电极以及该闸极线路的该等末端部；以及形成一像素电极，其会透过该第一接触孔被连接至该汲极电极。 |
