АТОМНАЯ ЛИТОГРАФИЯ НАНОСТРУКТУР ИЗ РАЗЛИЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ЗАДАННОМ РАССТОЯНИИ ДРУГ ОТ ДРУГА С НАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТЬЮ

摘要

Атомная камера обскура, состоящая из пульта управления, соединенного с атомной пушкой, маски, пленки и подложки, отличающаяся тем, что маска установлена на микроподвижке, соединенной с пультом управления.