Verfahren zur Behandlung von Siliziumwafern, Behandlungsflüssigkeit und Siliziumwafer

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung von Siliziumwafern, insbesondere als Substrate für die Herstellung von Solarzellen, wobei die Oberfläche der Siliziumwafer mit einer Behandlungsflüssigkeit, die Wasser, wenigstens eine alkalische Ätzkomponente und wenigstens ein Ätzadditiv aus der Substanzklasse der Celluloseether enthält, benetzt und dabei texturiert wird. Die Erfindung betrifft auch eine entsprechende Behandlungsflüssigkeit sowie Siliziumwafer, die mit einem solchen Verfahren hergestellt worden sind oder mit einer solchen Behandlungsflüssigkeit behandelt worden sind.