| 发明名称 |
ABSORBER LAYER FOR DYNAMIC SURFACE ANNEALING PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20130038943(A) |
申请公布日期 |
2013.04.18 |
| 申请号 |
KR20137005374 |
申请日期 |
2004.10.01 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
AUTRYVE LUC VAN;BENCHER CHRIS D.;JENNINGS DEAN;LIANG HAIFAN;MAYUR ABHILASH J.;YAM MARK;YEH WENDY H.;BROUGH RICHARD A. |
| 分类号 |
H01L21/268;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/314;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/268 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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