一种晶圆级封装微小芯片提取翻转置位设备

摘要

本发明涉及一种晶圆级封装微小芯片提取翻转置位设备，包括晶圆划片后的芯片供给平台、翻转装置、提取置位装置、载带供给覆膜装置及图像处理系统，芯片供给平台设在最下部，提取置位装置设在芯片供给平台的上部，翻转装置设在提取置位装置的上部，载带供给装置、载带压膜装置设在提取置位装置的后部，各工位有图像对位处理系统，芯片供给平台XYθ三个轴，翻转装置有Zθ两个轴，提取装置固定于Z向运动机构的滑块上，有XYZθ四个轴，可上下运动，载带供给装置采用卷送料盘的形式，并在进行置位芯片覆膜等工序，有Zθ两个轴。本发明可在微小芯片提取置位过程中翻转芯片，使后道工序可以一步完成，方便芯片的直接应用，提高了生产效率。

主权项

一种晶圆级封装微小芯片提取翻转置位设备，其特征在于，该设备包括晶圆划片后的芯片供给平台、翻转装置、提取置位装置、载带供给装置、载带压膜装置及图像处理系统，所述的芯片供给平台设在最下部，所述的提取置位装置设在芯片供给平台的上部，所述的翻转装置设在提取置位装置的上部，所述的载带供给装置及载带压膜装置设在提取置位装置的后部，上述装置均与图像对位处理系统连接；所述的芯片供给平台固定于可在水平面内绕轴自转的θ轴平面轴承上，该平面轴承固定在相互垂直安装的X轴及Y轴的两组导向模组上，在X轴及Y轴中间有可作垂直Z向运动的顶针机构，在对应顶针的上方有本工位用于图像抓取对位处理的摄像头；所述的提取置位装置包括X向运动机构、Y向运动机构、Z向运动机构及提取吸头，所述的Y向运动机构设于架台的一侧，所述的X向运动机构一端架设在Y向运动机构上，另一端悬空，所述的Z向运动机构设于X向运动机构上部，所述的提取吸头设在提取置位装置的上部。