杯芳烃混合分子玻璃光致抗蚀剂及使用方法

摘要

本发明公开了杯芳烃混合分子的玻璃光致抗蚀剂及使用方法。本发明公开了光致抗蚀剂组合物，包括：至少一种完全保护的杯[4]间苯二酚芳烃和至少一种未保护的杯[4]间苯二酚芳烃的混合物，其中，完全保护的杯[4]间苯二酚芳烃具有用酸不稳定的保护基保护的酚基；光酸产生剂；和溶剂，其中，所述混合物和光酸产生剂可溶于该溶剂中。本发明还公开了使用该光致抗蚀剂组合物在基底上产生抗蚀剂图像的方法。

主权项

1.正型光致抗蚀剂组合物，包含：至少一种完全保护的杯[4]间苯二酚芳烃和至少一种未保护的杯[4]间苯二酚芳烃的混合物，其中，所述完全保护的杯[4]间苯二酚芳烃具有用酸不稳定的保护基保护的酚基，其中所述至少一种完全保护的杯[4]间苯二酚芳烃为所述混合物的至少25摩尔％；光酸产生剂；和溶剂，其中，所述混合物和所述光酸产生剂在该溶剂中是可溶的，其中，所述杯[4]间苯二酚芳烃具有式(I)的结构：其中，对于未保护的杯[4]间苯二酚芳烃，R部分是氢，而对于完全保护的杯[4]间苯二酚芳烃，R部分是酸不稳定的基团，其中，所述酸不稳定的保护基可以是相同或不同的；R′部分独立地选自氢、烷基、芳基和烷芳基，且如果对于完全保护的和未保护的杯[4]间苯二酚芳烃，R′是烷基、芳基或烷芳基，那么它们任选地被1至4个选自羟基、卤素、低级烷基、低级烷氧基和硝基的取代基取代；且X和Y部分可以是相同或不同的，且对于完全保护的和未保护的杯[4]间苯二酚芳烃，选自氢、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、烷芳基、卤素、氰基、硝基和羧酸酯。