横向体声波谐振器、制备方法及应用该谐振器的振荡器

摘要

本发明涉及一种横向体声波谐振器、制备该横向体声波谐振器的方法以及应用该横向体声波谐振器的振荡器，属于微机电系统（MEMS）领域。本发明中所述的横向体声波谐振器通过固定端约束谐振体上下左右位移，通过将谐振体垂直设置，使谐振体与驱动电极组成的机-电耦合系统后，当该机-电耦合系统受到外力驱动时，谐振体仅在水平方向上收缩变形，从而使其振动模式单一稳定，故而通过应用此种结构的振荡器在工作时可以获得稳定的频率。而本发明中的谐振器的制备工艺则采用硅片正面刻蚀工艺结合淀积、键合工艺、湿法腐蚀等工艺形成悬浮谐振体，固定端，以及纳米级间距驱动电极，能够有效控制悬浮谐振体的高度，厚度，以及驱动电极间隙。

主权项

一种横向体声波谐振器，包括具有正面（11）和背面（12）的衬底（1），其特征是：所述横向体声波谐振器还包括垂直悬浮于衬底（1）正面（11）的谐振体（2）、若干个耦合于所述谐振体（2）的垂直侧面并固定在衬底（1）上的驱动电极（3）、以及用于连接衬底（1）和谐振体（2）的固定端（4），所述谐振体（2）在水平方向上呈正多边形，所述驱动电极（3）与谐振体（2）之间形成静电力‑电容转换的机电耦合系统。