发明名称 RESONATEURS A ONDES DE VOLUME SUR STRUCTURES VERTICALES MICRO-USINEES.
摘要 Un résonateur piézoélectrique à ondes de volume fonctionnant à une fréquence prédéterminée comprend un bloc de substrat (4), porteur ayant une face plane (16) et une première épaisseur e1 et constitué en un premier matériau, une plaque résonnante (6) possédant une longueur L, une largeur l et une deuxième épaisseur e2, et constituée en un deuxième matériau piézoélectrique, une première et une deuxième électrodes métalliques (12, 14) recouvrant au moins en partie la plaque résonnante (6) de part et d'autre et au moins partiellement en vis-à-vis. La plaque résonnante (6) est fixée perpendiculairement au voisinage de la face plane (16) du bloc de substrat (4) de sorte que la largeur de la plaque résonnante (6) et la première épaisseur du bloc de substrat ont un même sens, et le premier matériau, le deuxième matériau, la première épaisseur du bloc de substrat, la longueur, la largeur I, la deuxième épaisseur de la plaque résonnante sont configurés pour piéger des ondes de volume à la fréquence de fonctionnement du résonateur et pour réaliser un résonateur piézoélectrique à ondes de volume de type plan-plan, c'est-à-dire des ondes de volumes se propageant dans le sens de l'épaisseur de la plaque résonnante.
申请公布号 FR2981204(A1) 申请公布日期 2013.04.12
申请号 FR20110058964 申请日期 2011.10.05
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S);UNIVERSITE DE FRANCHE-COMTE;CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES;ECOLE NATIONALE SUPERIEURE DE MECANIQUE ET DE MICROTECHNIQUE 发明人 BALLANDRAS SYLVAIN;ULLIAC GWENN;EDOUARD-GUICHARDAZ BLANDINE;BARON THOMAS;RAUCH JEAN-YVES
分类号 H01L41/04;H01L41/22;H03H9/17 主分类号 H01L41/04
代理机构 代理人
主权项
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