在离子布植中用以延长设备正常运行时间的方法

摘要

本发明展示用于离子束产生系统之一离子源及相关萃取电极与类似组件之原位清洁程序，其将碳沈积化学移除，增加服务寿命及性能，而无需拆卸该系统。特定言之，本发明之一态样系关于一种活化、催化或反应促进的物种，其被添加至该等反应物种以有效地将该非挥发性分子残留物转换成一种可藉由知方式移除之挥发性物种。