组装薄胶膜于光罩上的方法

摘要

本发明提供一种组装薄胶膜于光罩上的方法、设备及其组装体。一腔体具有至少一埠，以将该腔体填充一极度洁净乾空气(XCDA)或一惰性气体。一薄胶膜组装器设置于该腔体中。一真空紫外光(VUV)光源，当该腔体填充该极度洁净乾空气或该惰性气体时，用以照射一光罩固定于该薄胶膜组装器。以真空紫外光照射光罩于一极度洁净乾空气或惰性气体的环境，以及当光罩于该极度洁净乾空气或惰性气体的环境且曝露在真空紫外光中，组装一薄胶膜于该光罩上。