| 摘要 |
【课题】;提供一种可迅速且切实地去除被处理水中的过氧化氢，特别适用于使用半导体、液晶等电子材料的产业所使用的超纯水制造装置中，去除超纯水中的过氧化氢之过氧化氢的去除方法及去除装置。;【解决方法】;一种水中的过氧化氢之去除方法，其特征系使载体上负载着平均颗粒径1~50nm的铂族的金属奈米胶体颗粒之过氧化氢分解催化剂接触含过氧化氢的被处理水；及一种过氧化氢的去除装置，其特征系包括充填载体上负载着平均颗粒径1~50nm的铂族的金属奈米胶体颗粒的催化剂之过氧化氢分解装置、将含过氧化氢的被处理水馈入该装置之供水机构、以及使与该催化剂接触的水从该装置排出之排出机构。 |
