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发明名称
FORMATION OF VIAHOLE
摘要
申请公布号
JPH0846042(A)
申请公布日期
1996.02.16
申请号
JP19940182078
申请日期
1994.08.03
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
MURAI SHIGEYUKI;YAMAGUCHI TSUTOMU;HARADA YASOO
分类号
H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
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