即时压印程序缺陷诊断技术

摘要

在一压印微影制程中缺陷及/或微粒可在该受图案化层中提供排除区域及/或过渡区域。该受图案化层中的排除区域及/或过渡区域可遭识别以提供一模板上的一感兴趣区域。