发明名称 Filmbildungsvorrichtung und Verfahren zum Instandhalten einer Filmbildungsvorrichtung
摘要 <p>Entzündungsabschnitte sind an zwei Stellen auf jedem der unteren Abschnitte der Seitenflächen an beiden Seiten einer Filmbildungskammer so bereitgestellt, dass sie insgesamt an vier Stellen bereitgestellt sind. Ein Stromfluss wird an den Entzündungsabschnitten angelegt, wenn ein entflammbares Abfallprodukt entzündet wird. Ein erster Detektionsabschnitt zum Messen eines Druckes in der Filmbildungskammer ist an einer Seitenfläche der Filmbildungskammer gebildet. Ein zweiter Detektionsabschnitt ist an einem unteren Abschnitt der Seitenfläche der Filmbildungskammer gebildet. Ein dritter Detektionsabschnitt zum Messen einer räumlichen Temperatur in der Filmbildungskammer ist an einem oberen Abschnitt der Filmbildungskammer gebildet.</p>
申请公布号 DE112011102142(T5) 申请公布日期 2013.04.11
申请号 DE201111102142T 申请日期 2011.06.22
申请人 ULVAC, INC. 发明人 HAYASHI, TAKURO;SOGABE, KOUJI;MATSUMOTO, KOICHI;HASHIMOTO, MASANORI;NAKAMURA, KYUZO;HAGIWARA, MUNEMOTO;UCHIDA, HIROTO;MORI, KATSUHIKO;SHIMIZU, YASUO;SAKAMOTO, MORIAKI
分类号 H01L21/205;C23C16/44;H01L31/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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