纳米颗粒的制备

摘要

本发明公开一种用于制备纳米颗粒的方法，该方法能够良好地控制生产参数并提高生产率。该方法包括以共平面的方式布置的多个溅射靶、位于所述多个溅射靶之间的用于发射气体流的第一气体供给装置、以及多个磁控管，各个磁控管位于各个所述溅射靶的后方。磁控管可以各自具有独立受控的电源，从而允许进行精确控制。例如，所述靶可以具有不同的材料，从而允许改变合金组成。可以设置多个另外的气体供给装置，所述另外的气体供给装置各自向一个溅射靶上提供气体供应。溅射靶可以以轴对称的方式布置，理想的是对称地布置在所述第一气体供给装置的周围。特别有利的是，使溅射靶位于支撑件的表面、并且位于该表面上的由竖立构件界定的凹入部分内，因为这样能够使所述多个另外的气体供给装置位于所述竖立构件上，并且各自朝向一个溅射靶。这样就能够精确控制各个溅射靶上的气体流速和方向。

主权项

一种用于制备纳米颗粒的装置，包括：多个溅射靶，所述多个溅射靶以共平面的方式布置；第一气体供给装置，所述第一气体供给装置位于所述多个溅射靶之间，用于发射气体流；以及多个磁控管，各个磁控管分别位于各个所述溅射靶的后方。