发明名称 | 触控面板的制作方法 | ||
摘要 | 一种触控面板的制作方法,于基板上形成一层成触控图像的导线层,包含:(a)于基板上以导电材料构成导线准备层;(b)在导线准备层上涂布由反射率低于构成导线准备层的材料所构成的遮光准备层;(c)使用具有触控图像的遮罩经过曝光、显影而使遮光准备层形成遮光层;及(d)以遮光层作为导线准备层的遮罩,蚀刻移除导线准备层未被遮覆的区域,而成为具触控图像的导线层。本发明仅用一次的微影制作及所形成的遮光层作自我对准再续进行的蚀刻制作,而形成无位置误差的导线层及遮光层,改善制程良率并减少制作材料与制作时间成本。 | ||
申请公布号 | CN103034357A | 申请公布日期 | 2013.04.10 |
申请号 | CN201210316617.5 | 申请日期 | 2012.08.30 |
申请人 | 达鸿先进科技股份有限公司 | 发明人 | 李文政;林钟伟;薛秉中;庄恒隆;赖纪光 |
分类号 | G06F3/041(2006.01)I | 主分类号 | G06F3/041(2006.01)I |
代理机构 | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人 | 须一平 |
主权项 | 一种触控面板的制作方法,于一个基板上形成一层成触控图像的导线层,其特征在于,包含:(a)于该基板上以导电材料构成一层导线准备层;(b)在该导线准备层上涂布一层由反射率远低于构成该导线准备层的导电材料的材料所构成的遮光准备层;(c)使用一个具有对应于该触控图像的图案的遮罩,经过曝光和显影而使该遮光准备层形成一层成该触控图像的遮光层;及(d)以该遮光层作为该导线准备层的遮罩,蚀刻移除该导线准备层未被该遮光层遮覆的区域,而成为该成触控图像的导线层。 | ||
地址 | 中国台湾新竹县湖口乡新竹工业区光复路12号 |