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发明名称
摘要
申请公布号	JP5178873(B2)	申请公布日期	2013.04.10
申请号	JP20110085230	申请日期	2011.04.07
申请人		发明人
分类号	C23C14/24	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
主权项
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