发明名称 一种太赫兹波调制器
摘要 本发明公开了一种太赫兹波调制器,包括太赫兹波可透过的半导体衬底(1)、在半导体衬底(1)上按一定周期分布的金属氧化物半导体场效应管阵列(2)、在金属氧化物半导体场效应管阵列(2)上制备的超材料谐振单元阵列(3)、第一金属板(4)和第二金属板(5);第一金属板(4)与金属氧化物半导体场效应管的源极及漏极相连接;第二金属板(5)与金属氧化物半导体场效应管的栅极相连接。本发明中的金属氧化物半导体场效应管的工作电压很低,使得以其制备的太赫兹波调制器可于低电压下工作。金属氧化物半导体场效应管的开关时间极短,为10~100ns量级,使得以其制备的太赫兹波调制器的调制速率可大于10MHz。
申请公布号 CN103034014A 申请公布日期 2013.04.10
申请号 CN201210580488.0 申请日期 2012.12.26
申请人 东南大学 发明人 张雄;廖民亮;丛嘉伟;崔一平
分类号 G02F1/355(2006.01)I 主分类号 G02F1/355(2006.01)I
代理机构 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人 王鹏翔
主权项 一种太赫兹波调制器,其特征在于,包括太赫兹波可透过的半导体衬底(1)、在半导体衬底(1)上按一定周期分布的金属氧化物半导体场效应管阵列(2)、在金属氧化物半导体场效应管阵列(2)上制备的超材料谐振单元阵列(3)、第一金属板(4)和第二金属板(5);所述第一金属板(4)与金属氧化物半导体场效应管的源极及漏极相连接;所述第二金属板(5)与金属氧化物半导体场效应管的栅极相连接。
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