使用具有溢流体积的工具模制光学元件

摘要

一种通过复制工具制造元件的方法，包括以下步骤：制备限定元件的形状的复制工具；制备基体；将工具压向基体，其中复制材料位于工具和基体之间；将复制材料限制在基体上预定的区域内，预定的区域沿着基体表面的至少一个方向超过元件覆盖基体所需的区域小于预定距离；硬化(例如，固化)复制材料成形元件。

主权项

1.一种通过复制工具制造元件的方法，包括以下步骤：提供限定元件形状的复制工具；提供基体；将复制工具压向基体，呈液态或粘性或塑性变形状态的复制材料位于复制工具和基体之间；将复制材料限制在基体的预定区域，其中预定区域沿着基体表面的至少一个方向超过基体上的元件的所需区域小于预定距离，硬化复制材料以形成元件，其特征在于所述复制工具包括至少一个空腔，该空腔以底版结构特征限定复制表面，做为元件的至少一些结构特征的底版，复制工具包括从复制表面凸出的间隔件部分，在复制工具压向基体的步骤中，复制工具被按压，直到间隔件部分紧靠基体，复制材料通过如下两者限制：选择对应预定体积的复制材料的量；当间隔件部分紧靠基体时，在复制工具的边缘或其它间断部，使得复制材料的外流通过作用在复制工具的边缘或其它间断部的毛细管作用力和表面张力中的至少一个而被停止，该边缘或其它间断部与基体的表面具有距离。