| 发明名称 | 在复合层内扩散金属颗粒的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及扩散金属颗粒的方法，所述金属颗粒包含在先前沉积在基底上的复合层中，所述复合层还包含至少一种介电基质。根据该方法，所述金属颗粒向着所述基底的扩散通过等离子体处理来进行。 | ||
| 申请公布号 | CN103038392A | 申请公布日期 | 2013.04.10 |
| 申请号 | CN201180026757.2 | 申请日期 | 2011.05.19 |
| 申请人 | 原子能与替代能源委员会 | 发明人 | 劳伦特·比德尔;西里尔·凯龙;米歇尔·茹夫;弗朗西斯·莫里;艾蒂安·凯内尔 |
| 分类号 | C23C30/00(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C30/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;吴鹏章 |
| 主权项 | 一种扩散金属颗粒的方法，所述金属颗粒包含在先前沉积在基底上的复合层中，所述复合层还包含至少一种介电基质，其中所述金属颗粒向所述基底的扩散通过等离子体处理而实现。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||