发明名称 | 一种原子层沉积设备及其使用方法 | ||
摘要 | 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其是涉及一种原子层沉积设备。所述原子层沉积设备,包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件、控制部件和沉积室;所述沉积室内设有膜厚测量模块,所述膜厚测量模块与所述控制部件电连接。本发明还提供一种原子层沉积设备的使用方法。本发明通过采用沉积时间和膜层厚度测量模块,提高了原子层沉积设备的膜厚控制能力,减少设备故障,使得加工出的膜层更加接近所需厚度,有效降低膜层厚度漂移,提高了设备的利用率,且能够满足半导体加工越来越精细化的要求。 | ||
申请公布号 | CN103031546A | 申请公布日期 | 2013.04.10 |
申请号 | CN201110300843.X | 申请日期 | 2011.09.29 |
申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 王燕;李勇滔;夏洋;赵章琰;石莎莉 |
分类号 | C23C16/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/52(2006.01)I |
代理机构 | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人 | 刘丽君 |
主权项 | 一种原子层沉积设备,包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件、控制部件和沉积室,其特征在于:所述沉积室内设有膜厚测量模块,所述膜厚测量模块与所述控制部件电连接。 | ||
地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |