一种真空磁控溅射镀膜用的旋转阴极

摘要

本实用新型提供了一种真空磁控溅射镀膜用的旋转阴极，包括绝缘座、阴极安装座、真空基体、安装座及水接头；所述绝缘座固装在真空基体上，阴极安装座和安装座固装在绝缘座上，阴极安装座和安装座上分别通过可旋转的阴极端盖和第二阴极端盖与靶材的两端密封连接；绝缘座上设有传动轴，传动轴上端的驱动齿轮与固装在阴极端盖上的从动齿轮啮合，靶材的内部设有不旋转的中心管，中心管的顶部设有磁芯元件，中心管通过引水管与水接头连接，中心管的内孔通过进水管与水接头的进水孔连通；靶材、阴极端盖、第二阴极端盖、引水管和水接头组成一密闭的腔体。本实用新型提高了靶材的利用率和镀膜的均匀性；且具有密封效果好，维修成本低，使用寿命长的优点。

主权项

一种真空磁控溅射镀膜用的旋转阴极，其特征是：包括绝缘座、传动轴、驱动齿轮、从动齿轮、阴极安装座、阴极端盖、圆管状靶材、真空基体、安装座、第二阴极端盖、进水管、引水管及水接头；所述绝缘座固装在真空基体上，相互平行设置的阴极安装座和安装座固装在绝缘座上，阴极安装座和安装座上分别设有阴极端盖和第二阴极端盖，阴极端盖和第二阴极端盖可相对于阴极安装座和安装座旋转，阴极端盖和第二阴极端盖分别与靶材的两端密封连接；绝缘座上靠近阴极安装座设有传动轴，传动轴的上端固装有驱动齿轮，驱动齿轮与从动齿轮啮合，从动齿轮固装在阴极端盖上，驱动齿轮和从动齿轮均为锥齿轮；靶材的内部设有不旋转的中心管，中心管的顶部设有磁芯元件，中心管通过引水管与水接头连接，中心管的内孔通过进水管与水接头的进水孔连通；靶材、阴极端盖、第二阴极端盖、引水管和水接头组成一密闭的腔体。