一种基板预对准位姿测量方法

摘要

一种基板预对准位姿测量方法，包括对输入图像进行差分并排除负边缘点，获得差分图像；对差分图像二值化并投影，采用非最大值抑制确定基板两边分别的基板边缘在图像中的可能位置；在其附近对差分图像进行搜索，将差分极值点作为基板边缘候选点；根据基板边缘的平直特性，剔除基板边缘候选点中的噪声，获得两边的基板边缘点；判断基板边缘点是否满足亮度一致性的要求，如果满足则进入步骤6，如果不满足，则跳转到下一个基板边缘在图像中的可能位置，返回步骤3；利用基板两边垂直，根据基板边缘点拟合出基板两边的直线方程参数后计算出基板的位置，单独拟合出基板其中一边的直线方程参数后计算出基板的姿态。

主权项

一种基板预对准位姿测量方法，其特征在于，包括：步骤1，图像传感器探测所述基板获得输入图像，对所述输入图像进行差分并排除负边缘点，获得差分图像；步骤2，对所述差分图像二值化并进行投影后，所述基板相交两边分别为第一边和第二边，采用非最大值抑制确定所述第一边和所述第二边分别的基板边缘在图像中的可能位置；步骤3，在所述基板边缘在图像中的可能位置附近对所述差分图像进行搜索，将差分极值点作为基板边缘候选点；步骤4，根据基板边缘的平直特性，剔除所述基板边缘候选点中的图像噪音引起的误检点，获得所述第一边和所述第二边基板边缘点；步骤5，判断所述基板边缘点是否满足亮度一致性的要求，如果满足则进入步骤6，如果不满足，则跳转到下一个基板边缘在图像中的可能位置，返回步骤3；步骤6，利用所述第一边和所述第二边垂直，根据所述基板边缘点通过最小二乘法拟合出所述第一边和所述第二边的直线方程参数后计算出所述基板的位置，单独拟合出所述基板其中一边的直线方程参数后计算出所述基板的姿态。