往复升降装置

摘要

本发明提供了一种安装在具有真空腔的腔体上的往复升降装置，包括支撑板、安装板、驱动器、调节件及若干一一对应的升降杆和波纹管。支撑板位于腔体外且与腔体的底板平行，安装板位于支撑板下方并与腔体的底板固定连接。升降杆下端均固定在支撑板上，上端均呈密封的伸入真空腔内并形成承载工件的支撑面。调节件的上端与支撑板呈旋转的卡合连接，下端与驱动器的输出轴呈套接的螺纹连接，驱动器安装在安装板上。波纹管套接在位于腔体外的升降杆外且上端与述腔体密封连接，下端与所述支撑板密封连接，驱动器通过调节件驱动支撑板做直线往复运动。由于调节件及波纹管，使得本发明的结构简单、成本较低且能精准微调的同时，还具有更长使用寿命。

主权项

一种往复升降装置，适应于安装在具有真空腔的腔体上，其特征在于，所述往复升降装置包括支撑板、安装板、驱动器、调节件及若干一一对应的升降杆和波纹管，所述支撑板位于所述腔体外且与所述腔体的底板平行，所述安装板位于所述支撑板下方并与所述腔体的底板固定连接，所述升降杆的下端均固定在所述支撑板上，所述升降杆的上端均呈密封的伸入所述真空腔内并形成承载工件的支撑面，所述调节件的上端与所述支撑板呈旋转的卡合连接，所述调节件的下端与所述驱动器的输出轴呈套接的螺纹连接，所述驱动器安装在所述安装板上，所述波纹管套接在位于所述腔体外的升降杆外且上端与所述腔体密封连接，下端与所述支撑板密封连接，所述驱动器通过所述调节件驱动所述支撑板做直线往复运动。