一种硅片的加工夹具

摘要

本发明提供了一种硅片的加工夹具，包括定位夹、锁紧螺杆，定位夹内设有夹紧板，所述锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，所述夹紧板上设有弹性垫片，由于所述夹紧板上设有弹性垫片，夹紧板夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动时，夹紧板与硅片之间通过弹性垫片缓冲，避免硅片由于硬接触而损坏，提高了硅片的成品率且本发明结构简单。

主权项

一种硅片的加工夹具，包括定位夹、锁紧螺杆，定位夹内设有夹紧板，所述锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，其特征在于，所述夹紧板上设有弹性垫片。