一种薄样掠射X射线荧光光谱分析系统

摘要

一种薄样掠射X射线荧光光谱分析系统，包括至少一个X射线源，用于发射初次X射线；布置在X射线源和试样之间的束调节单元，该束调节单元将X射线源发出的初次X射线滤波为单色光，并整形成条状；用于放置试样的样品载体，样品载体是光学平坦的，样品载体处于束调节单元出射的X射线的光路上，样品载体的平面与X射线的夹角为一掠射角；至少一个X射线探测器，布置在样品载体的法线方向，接收由试样产生的荧光X射线；以及控制单元和记录单元。本实用新型所提供的XRF光谱分析系统使用单色条状X射线束，以掠射的方式照射的试样上，穿透试样进入样品载体的X射线非常少，可以有效的减少基底效应，提高系统的分辨率，降低检出限。

主权项

一种薄样掠射X射线荧光（XRF）光谱分析系统，其特征在于，该系统包括： 至少一个X射线源，用于发射初次X射线； 布置在X射线源和试样之间的束调节单元，该束调节单元将X射线源发出的初次X射线滤波为单色光，并整形成条状； 用于放置试样的样品载体，样品载体是光学平坦的，样品载体处于束调节单元出射的X射线的光路上，样品载体的平面与X射线的夹角为一掠射角； 至少一个X射线探测器，布置在样品载体的法线方向，接收由试样产生的荧光X射线； 以及控制单元和记录单元。