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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und Vorrichtung zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE112011100451(T5) 申请公布日期 2013.04.04
申请号 DE201111100451T 申请日期 2011.01.27
申请人 FUJI ELECTRIC CO., LTD 发明人 NAKAZAWA, HARUO
分类号 H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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