发明名称 METHODS OF MANUFACTURING HIGH-STRENGTH LARGE-AREA SPUTTERING TARGETS
摘要 In various embodiments, joined sputtering targets are formed at least in part by spray deposition of the sputtering material and/or welding.
申请公布号 US2013081749(A1) 申请公布日期 2013.04.04
申请号 US201213628092 申请日期 2012.09.27
申请人 H. C. STARCK, INC.;H.C. STARCK, INC. 发明人 VOLCHKO SCOTT JEFFREY;ZIMMERMANN STEFAN;MILLER STEVEN ALFRED
分类号 B05D1/02;B32B38/00 主分类号 B05D1/02
代理机构 代理人
主权项
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