发明名称 | 缺陷检测方法 | ||
摘要 | 一种缺陷检测方法,包括步骤:提供母本衬底一目标单元片上多个区域的区域母本阈值;提供待检衬底,选定所述待检衬底上一待检单元片和相邻单元片;将所述待检单元片和相邻单元片划分为多个区域,并获取所述待检单元片上每个区域的区域待检像素和相邻单元片上的每个区域的区域参考像素;根据所述区域待检像素和区域参考像素,计算待检单元片和相邻单元片上每个区域的区域待检值和区域参考值,获得所述区域待检值和区域参考值的之间的差值并以之作为区域差值,所述区域差值为绝对值;比较所述区域差值与区域母本阈值的大小,当所述区域差值大于区域母本阈值时,判定有缺陷的存在。采用本发明的方法,提高了缺陷检测的正确率和效率。 | ||
申请公布号 | CN103018260A | 申请公布日期 | 2013.04.03 |
申请号 | CN201110298244.9 | 申请日期 | 2011.09.27 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 叶林;徐萍;朱瑜杰;陈思安 |
分类号 | G01N21/95(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/95(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
主权项 | 一种缺陷检测方法,其特征在于,包括步骤:提供母本衬底一目标单元片上多个区域的区域母本阈值;提供待检衬底,选定所述待检衬底上一待检单元片和相邻单元片;将所述待检单元片和相邻单元片划分为多个区域,并获取所述待检单元片上每个区域的区域待检像素和相邻单元片上的每个区域的区域参考像素;根据所述区域待检像素和区域参考像素,计算待检单元片和相邻单元片上每个区域的区域待检值和区域参考值,获得所述区域待检值和区域参考值的之间的差值并以之作为区域差值,所述区域差值为绝对值;比较所述区域差值与区域母本阈值的大小,当所述区域差值大于区域母本阈值时,判定有缺陷的存在。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |