多晶硅还原炉和观察视镜

摘要

本发明公开了一种多晶硅还原炉用观察视镜，包括：内管；波纹管，所述波纹管套设在所述内管上且所述波纹管的内壁与所述内管的外壁限定有第一冷却介质容纳腔；第一法兰，所述波纹管的第一端抵接在所述第一法兰上，所述内管的第一端穿过所述第一法兰的中心孔且所述第一法兰的中心孔的内周壁与所述内管的外周壁相连；视镜玻璃，所述视镜玻璃的内表面覆盖在所述内管的第一端上且所述视镜玻璃的外周壁与所述第一法兰的中心孔的内周壁相连；和第二法兰，所述第二法兰的内侧与所述视镜玻璃的外表面相连。根据本发明实施例的多晶硅还原炉用观察视镜，结构简单合理且运行安全。本发明还公开了一种多晶硅还原炉。

主权项

一种多晶硅还原炉用观察视镜，其特征在于，所述观察视镜包括：内管；波纹管，所述波纹管套设在所述内管上且所述波纹管的内壁与所述内管的外壁限定有第一冷却介质容纳腔；第一法兰，所述波纹管的第一端抵接在所述第一法兰上，所述内管的第一端穿过所述第一法兰的中心孔且所述第一法兰的中心孔的内周壁与所述内管的外周壁相连；视镜玻璃，所述视镜玻璃的内表面覆盖在所述内管的第一端上且所述视镜玻璃的外周壁与所述第一法兰的中心孔的内周壁相连；和第二法兰，所述第二法兰的内侧与所述视镜玻璃的外表面相连；其中，所述视镜玻璃与所述内管的第一端之间以及所述视镜玻璃和所述第二法兰之间分别设有密封垫圈且所述第二法兰与所述第一法兰通过螺栓连接；所述第一法兰的中心孔的内壁上开设有环形槽且所述第一法兰上形成有与所述环形槽相连通的氢气吹入口，所述内管上形成有与所述环形槽相连通的多个吹扫孔。