一种表面微机械加工的模拟微镜

摘要

本发明公开了一种表面微机械加工的模拟微镜，该模拟微镜包括微镜面、扭转梁、第一驱动梁、锚区、压焊区、衬底、隔离层和第二驱动梁，所述的锚区为四个，锚区位于衬底上方，且隔离层连接在锚区和衬底之间；每个锚区的顶面设有一个压焊区；第一驱动梁的两端连接在两个锚区上，第二驱动梁连接在其余两个锚区上，且第一驱动梁和第二驱动梁相互平行；第一驱动梁包括第一上驱动梁和第一下驱动梁，第一下驱动梁的顶面连接在第一上驱动梁的底面，且第一上驱动梁和第一下驱动梁的热膨胀系数不同；微镜面相对的两侧各通过一个扭转梁与第一驱动梁和第二驱动梁连接。该结构的模拟微镜可连续改变微镜面的旋转角度。

主权项

一种表面微机械加工的模拟微镜，其特征在于，该模拟微镜包括微镜面（1）、扭转梁（2）、第一驱动梁（3）、锚区（4）、压焊区（5）、衬底（6）、隔离层（7）和第二驱动梁（8），所述的锚区（4）为四个，锚区（4）位于衬底（6）上方，且隔离层（7）连接在锚区（4）和衬底（6）之间；每个锚区（4）的顶面设有一个压焊区（5）；第一驱动梁（3）的两端连接在两个锚区（4）上，第二驱动梁（8）连接在其余两个锚区（4）上，且第一驱动梁（3）和第二驱动梁（8）相互平行；第一驱动梁（3）包括第一上驱动梁（301）和第一下驱动梁（302），第一下驱动梁（302）的顶面连接在第一上驱动梁（301）的底面，且第一上驱动梁（301）和第一下驱动梁（302）的热膨胀系数不同；微镜面（1）相对的两侧各通过一个扭转梁（2）与第一驱动梁（3）和第二驱动梁（8）连接。