一种对互连结构进行电容提取的方法

摘要

本发明提供一种对互连结构进行电容提取的方法，应用于一导体，导体表面包括多个三角形边界元；每一个三角形边界元中设置至少一个变动点，包括：获取各个三角形边界元的变动点坐标；在每个变动点上设置一个独立随机变量和一个非独立随机变量，独立随机变量表示垂直于变动点所在表面的第一方向的变动，非独立随机变量表示第二方向的变动传递到变动点的力；将各个独立随机变量和非独立随机变量加入对应的变动点坐标中，形成一等效导体表面；计算等效导体表面的等效电容。对导体表面使用三角形边界元进行离散，基本上不增加随机变量的数目；能够及时的反应导体表面的变动，电容提取也能够准确反映变动电容的真实特征。

主权项

一种对互连结构进行电容提取的方法，其特征在于，应用于一导体，导体的导体表面包括多个三角形边界元；每一个三角形边界元中设置至少一个变动点，方法包括：获取各个所述三角形边界元的变动点坐标；在每个所述变动点上设置一个独立随机变量和一个非独立随机变量，独立随机变量表示垂直于变动点所在表面的第一方向的变动，非独立随机变量表示第二方向的变动传递到所述变动点的力；将各个所述独立随机变量和非独立随机变量加入对应的所述变动点坐标中，形成一等效导体表面；计算所述等效导体表面的等效电容。