发明名称 Perfectionnements aux appareils de réaction pour produire, notamment par croissanceépitaxique, des dépôts résultant d'une réaction en phase gazeuse au contact de substrats chauds
摘要
申请公布号 FR1532524(A) 申请公布日期 1968.07.12
申请号 FR19670108367 申请日期 1967.05.30
申请人 SOCIETE EUROPEENNE DES SEMICONDUCTEURS 发明人 RIBART PIERRE
分类号 C30B25/08 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
主权项
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