基板搬送装置、基板搬送方法及表面安装机

摘要

本发明提供基板搬送装置、基板搬送方法及表面安装机，能够将停止在第1位置的基板向第2位置搬送并使该基板准确且稳定地停止在该第2位置。其中，在将基板从基板停止位置向安装作业位置搬送的过程中计测中间位置到达时间AT，由此掌握基板的搬送状况(有无发生突发性因素)。并且，在基板到达第2位置之前，根据中间位置到达时间AT来改变减速开始时期T14及减速度b，以控制减速模式，由此将该基板准确地停止并定位于安装作业位置。这样，通过前馈控制，能够将基板稳定地搬送到安装作业位置。

主权项

一种基板搬送装置，其特征在于：将停止在第1位置的基板向第2位置搬送并使该基板停止在所述第2位置，所述基板搬送装置包括：基板搬送机构，沿着从所述第1位置到所述第2位置的基板搬送路径来搬送所述基板；检测单元，对沿着所述基板搬送路径移动到所述第1位置与所述第2位置之间的中间位置的所述基板进行检测；控制单元，控制所述基板搬送机构；其中，所述控制单元包括：时间计测部，计测从停止在所述第1位置的所述基板的搬送开始至由所述检测单元检测到所述基板为止所需的中间位置到达时间；速度控制部，根据所述中间位置到达时间来控制使由所述检测单元检测到的所述基板减速的减速模式，使得所述基板停止在所述第2位置。