发明名称 |
半导体结构、半导体器件以及形成半导体结构的方法 |
摘要 |
本发明提供了一种半导体结构、半导体器件以及形成半导体结构的方法。一种半导体结构包括:工件,具有前侧和后侧;以及电容器,设置在所述工件中,所述电容器包括电耦接到所述工件的后侧的底部电极。在一个实施方式中,所述底部电极可以形成通向所述工件的前侧的传导路径。在一个实施方式中,所述电容器可以是沟道电容器。 |
申请公布号 |
CN103022017A |
申请公布日期 |
2013.04.03 |
申请号 |
CN201210345515.6 |
申请日期 |
2012.09.17 |
申请人 |
英飞凌科技股份有限公司 |
发明人 |
迪特尔·克拉埃斯;贝恩德·埃塞内尔;京特·普法伊费尔;德特勒夫·威廉 |
分类号 |
H01L23/64(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/64(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
李静;宫传芝 |
主权项 |
一种半导体结构,包括:第一半导体层;第二半导体层,覆盖所述第一半导体层;第三半导体层,覆盖所述第二半导体层;以及电容器,设置在所述第一半导体层、所述第二半导体层和所述第三半导体层中,所述电容器包括电耦接到所述第一半导体层的底部电极。 |
地址 |
德国瑙伊比贝尔格市 |