发明名称 半导体结构、半导体器件以及形成半导体结构的方法
摘要 本发明提供了一种半导体结构、半导体器件以及形成半导体结构的方法。一种半导体结构包括:工件,具有前侧和后侧;以及电容器,设置在所述工件中,所述电容器包括电耦接到所述工件的后侧的底部电极。在一个实施方式中,所述底部电极可以形成通向所述工件的前侧的传导路径。在一个实施方式中,所述电容器可以是沟道电容器。
申请公布号 CN103022017A 申请公布日期 2013.04.03
申请号 CN201210345515.6 申请日期 2012.09.17
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 迪特尔·克拉埃斯;贝恩德·埃塞内尔;京特·普法伊费尔;德特勒夫·威廉
分类号 H01L23/64(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L23/64(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 李静;宫传芝
主权项 一种半导体结构,包括:第一半导体层;第二半导体层,覆盖所述第一半导体层;第三半导体层,覆盖所述第二半导体层;以及电容器,设置在所述第一半导体层、所述第二半导体层和所述第三半导体层中,所述电容器包括电耦接到所述第一半导体层的底部电极。
地址 德国瑙伊比贝尔格市