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发明名称
METHOD FOR PRODUCING EPITAXIALLY COATED SILICON WAFERS
摘要
申请公布号
KR101101480(B1)
申请公布日期
2012.01.03
申请号
KR20100008643
申请日期
2010.01.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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