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发明名称 Procédé pour le dépôt rapide de films métalliques, en utilisant un plasma de lamatière à déposer
摘要
申请公布号 FR1535093(A) 申请公布日期 1968.08.02
申请号 FR19670118072 申请日期 1967.08.17
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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