发明名称 |
阵列基板及其制造方法、显示装置 |
摘要 |
本发明提供了一种阵列基板及其制造方法、显示装置,其中制造方法包括:步骤A、在基板的一侧依次形成第一导电层、源漏电极、有源层和绝缘层的图形,其中所述绝缘层上设置有至少一个过孔;步骤B、在形成所述第一导电层、源漏电极、有源层和绝缘层的基板上依次形成栅金属层和钝化层,其中所述栅金属层包括栅电极和栅线,所述栅金属层通过所述至少一个过孔与所述第一导电层连接,形成将静电疏散的通路。可以在Array工艺中提前多步工艺完成ESD回路的形成,使ESD组件充分发挥其疏散电荷的作用,有效的降低了ESD的发生率。 |
申请公布号 |
CN103021943A |
申请公布日期 |
2013.04.03 |
申请号 |
CN201210546103.9 |
申请日期 |
2012.12.14 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
发明人 |
于海峰;封宾;林鸿涛 |
分类号 |
H01L21/77(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/77(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;黄灿 |
主权项 |
一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:步骤A、在基板的一侧依次形成第一导电层、源漏电极、有源层和绝缘层的图形,其中所述绝缘层上设置有至少一个过孔;步骤B、在形成所述第一导电层、源漏电极、有源层和绝缘层的基板上依次形成栅金属层和钝化层,其中所述栅金属层包括栅电极和栅线,所述栅金属层通过所述至少一个过孔与所述第一导电层连接,形成将静电疏散的通路。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |