发明名称 阵列基板及其制造方法、显示装置
摘要 本发明提供了一种阵列基板及其制造方法、显示装置,其中制造方法包括:步骤A、在基板的一侧依次形成第一导电层、源漏电极、有源层和绝缘层的图形,其中所述绝缘层上设置有至少一个过孔;步骤B、在形成所述第一导电层、源漏电极、有源层和绝缘层的基板上依次形成栅金属层和钝化层,其中所述栅金属层包括栅电极和栅线,所述栅金属层通过所述至少一个过孔与所述第一导电层连接,形成将静电疏散的通路。可以在Array工艺中提前多步工艺完成ESD回路的形成,使ESD组件充分发挥其疏散电荷的作用,有效的降低了ESD的发生率。
申请公布号 CN103021943A 申请公布日期 2013.04.03
申请号 CN201210546103.9 申请日期 2012.12.14
申请人 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 发明人 于海峰;封宾;林鸿涛
分类号 H01L21/77(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I 主分类号 H01L21/77(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 许静;黄灿
主权项 一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:步骤A、在基板的一侧依次形成第一导电层、源漏电极、有源层和绝缘层的图形,其中所述绝缘层上设置有至少一个过孔;步骤B、在形成所述第一导电层、源漏电极、有源层和绝缘层的基板上依次形成栅金属层和钝化层,其中所述栅金属层包括栅电极和栅线,所述栅金属层通过所述至少一个过孔与所述第一导电层连接,形成将静电疏散的通路。
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