发明名称 WAFER RING HOLDER
摘要
申请公布号 KR200466097(Y1) 申请公布日期 2013.04.03
申请号 KR20100005394U 申请日期 2010.05.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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