一种超材料介质基板材料及其制备方法

摘要

本发明提供了一种超材料介质基板材料及其制备方法，包括以下步骤，1011.将掺硼纳米碳化硅粉末、溶剂、表面活性剂混合后研磨成细小颗粒；1012.将研磨后的细小颗粒用超声洗涤并干燥；1013.利用热等静压工艺将细小颗粒烧结成掺硼纳米碳化硅陶瓷；102.根据需要选择不同质量比的硼和纳米碳化硅，重复上述步骤，得到不同的陶瓷，将其烧结形成超材料的介质基板材料。应用本发明的制备方法，可以提高超材料介质基板材料的热导率，降低基板材料的介电损耗。另外，在制备碳化硅陶瓷材料的过程中掺入硼粉末作添加剂，明显降低了碳化硅陶瓷材料的整体烧结温度。

主权项

一种超材料介质基板材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：101.制备掺硼纳米碳化硅陶瓷；102.根据需要选择不同质量比的硼和纳米碳化硅，重复上述步骤，得到不同的陶瓷，将其烧结形成超材料的介质基板材料。