一种铸造多晶硅锭的热场结构

摘要

本发明公开了一种铸造多晶硅锭的热场结构，包括石英坩埚、隔热板、加热器、隔热层、热交换台，所述的石英坩埚设于热交换台上，其四周设有隔热板，隔热板固定在侧隔热层底部，所述的石英坩埚上下分别设有上隔热层和下隔热层，所述的隔热板与侧隔热层之间设有侧加热器，所述的上隔热层与石英坩埚之间设有上加热器。本发明通过在石英坩埚四周增加的隔热板，使长晶固液界面始终在隔热板的保护下，减少加热器对晶体生长界面的热冲击，使晶体生长稳定，抑制晶体缺陷的生成，在晶体生长过程中，减少了加热器对已凝固硅锭的辐射，有利于结晶潜热通过凝固部分传递到热交换台，有利于晶粒垂直生长，从而能够有效提高多晶硅太阳能电池的转换效率。

主权项

一种铸造多晶硅锭的热场结构，其特征在于：包括石英坩埚（1）、隔热板（2）、侧加热器（9）、侧隔热层（6）、热交换台（5），所述的石英坩埚（1）设于热交换台（5）上，所述的石英坩埚（1）四周设有隔热板（2），所述的隔热板（1）外侧设有侧隔热层（6），隔热板（2）固定在侧隔热层（6）底部，所述的石英坩埚（1）上部设有上隔热层（7），下部设有下隔热层（8），所述的隔热板（2）与侧隔热层（6）中间设有侧加热器（9），所述的上隔热层（7）与石英坩埚（1）之间设有上加热器（10）。