发明名称 |
用于辐射探测器的转换器层的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于辐射探测器(10)的多个转换器层(3)的制造方法,其中,每个转换器层(3)包括用于施加像素电极(12)的具有像素结构的第一面(4)和用于施加反电极(11)的第二面,所述制造方法包括在用于一个或多个具有结构化第一面(4)的转换器层(3)的具有结构形成元件(52)的晶体生长设备中的胚层(50)上的半导体晶体(54,60)的生长步骤。此外本发明涉及一种通过本方法制造的转换器层(3)以及一种辐射探测器(10)和一种具有此类转换器层(3)或此类辐射探测器(10)的医疗技术设备(20)。 |
申请公布号 |
CN103022064A |
申请公布日期 |
2013.04.03 |
申请号 |
CN201210344538.5 |
申请日期 |
2012.09.17 |
申请人 |
西门子公司 |
发明人 |
F.迪尔;P.哈肯施迈德;M.斯特拉斯伯格 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/115(2006.01)I;G21K4/00(2006.01)I;G01T1/24(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
谢强 |
主权项 |
一种用于辐射探测器(10)的多个转换器层(3)的制造方法,其中,每个转换器层(3)包括用于施加像素电极(12)的具有像素结构的第一面(4)和用于施加反电极(11)的第二面,所述制造方法包括在用于一个或多个具有结构化第一面(4)的转换器层(3)的具有结构形成元件(52)的晶体生长设备中的胚层(50)上的半导体晶体(54,60)的生长步骤。 |
地址 |
德国慕尼黑 |