| 发明名称 | 一种硅波导折射率热光调节结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硅波导折射率热光调节结构，从下至上依次包括衬底、下包层、波导层、上包层和电极层；所述的波导层呈脊型，脊型区为轻掺杂的本征i区，两侧平板区分别为重掺杂区；所述的上包层两侧设有金属通孔，通过该通孔使波导层的重掺杂区与电极层相连。在外部电源通电注入电流后，波导层产生热量，波导芯区温度升高，折射率升高，从而实现热光调节效果，本发明利用波导层作为热电阻产生热量，热源与光场直接作用，相对于传统采用金属电阻的热光调节结构，具有功耗更低、响应时间更短的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN103018929A | 申请公布日期 | 2013.04.03 |
| 申请号 | CN201210517470.6 | 申请日期 | 2012.12.05 |
| 申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 陆梁军;周林杰;谢静雅;邹志;孙晓萌;李新碗;陈建平 |
| 分类号 | G02F1/015(2006.01)I;G02F1/01(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/015(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 一种硅波导折射率热光调节结构，其特征在于，从下至上依次包括衬底(1)、下包层(2)、波导层(3)、上包层(4)和电极层(5)；所述的波导层呈脊型，脊型中央区为轻掺杂的本征i区，两侧平板区分别为重掺杂区；所述的上包层两侧设有金属通孔，通过该通孔使波导层的重掺杂区与电极层相连。 | ||
| 地址 | 200240 上海市闵行区东川路800号 | ||