具流量控制之晶圆载具气体填充装置

摘要

一种具流量控制之晶圆载具气体填充装置，适用于连接一晶圆载具，并包含一进气端质量流量控制器、一进气端、一排气端、一气体特性感测器、一排气端质量流量控制器、一抽气装置，及一控制装置。该控制装置电连接于该气体特性感测器，用接收该气体特性感测器之一感测讯号后，再经由运算处理，以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体之流量。如此，让该晶圆载具内部气体能够于设定时间内快速的被置换，以有效地控制制程时间与填充气体用量，进而提升制程上之产能。