一种硅片分离装置

摘要

本实用新型提供了一种硅片分离装置，用于分离叠置的硅片，其包括：支撑架；设置在所述支撑架上以支撑所述硅片的支撑件；设置在所述支撑架上以将所述硅片送离所述支撑件的旋转轮；其中，所述支撑件和所述旋转轮的两者之一相对于所述支撑架的位置能够发生改变以使所述旋转轮与所述硅片均能够接触。本实用新型提供的硅片分离装置，通过旋转轮与硅片之间产生的摩擦力来实现硅片的移动，使得叠置在一起的硅片依次分离，代替了现有技术中手工接触硅片使其分离的方式，避免了因为人工的疏忽或者操作不当而增加硅片碎片和隐裂的风险，使得硅片成品合格率得到提升，降低了生产成本，而且也提高了工作效率。

主权项

一种硅片分离装置，用于分离叠置的硅片，其特征在于，包括：支撑架（1）；设置在所述支撑架（1）上以支撑所述硅片的支撑件（2）；设置在所述支撑架（1）上以将所述硅片送离所述支撑件（2）的旋转轮（3）；其中，所述支撑件（2）和所述旋转轮（3）的两者之一相对于所述支撑架（1）的位置能够发生改变以使所述旋转轮（3）与所述硅片均能够接触。