发明名称 |
晶棒粘接装置 |
摘要 |
本实用新型提供了一种晶体加工过程晶棒粘接装置,所述晶棒粘接装置包括:平台;设置于所述平台上的粘接台;设置于所述平台上的导向台;以及多个固定夹,所述多个固定夹能够沿着导向台运动。在此,利用多个固定夹固定多根晶棒,其中,每个固定夹固定一根晶棒;每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止;粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒,由此,可方便地实现多根晶棒的粘接,即简化了晶棒粘接工艺,提高了对晶体加工中晶向要求的准确性以及晶棒粘接效率,从而降低生产成本。 |
申请公布号 |
CN202826112U |
申请公布日期 |
2013.03.27 |
申请号 |
CN201220539741.3 |
申请日期 |
2012.10.19 |
申请人 |
西安神光安瑞光电科技有限公司 |
发明人 |
于新现;李斗;张杰 |
分类号 |
B28D7/00(2006.01)I |
主分类号 |
B28D7/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种晶棒粘接装置,其特征在于,包括:平台;设置于所述平台上的粘接台;设置于所述平台上的导向台;以及多个固定所述晶棒的固定夹,所述多个固定夹能够沿着导向台运动。 |
地址 |
710100 陕西省西安市国家民用航天产业基地东长安街888号 |