微机电系统双稳态光学开关及其使用方法

摘要

一种光学开关，其包含：双稳态组件；反射组件，其以操作方式连接到双稳态组件；第一电热弯曲梁激励器；第一接触组件，其以操作方式连接到第一电热弯曲梁激励器组件，第一电热弯曲梁激励器组件和第一接触组件安置成使双稳态组件和反射组件能够从第一稳定配置推进到第二稳定配置；第二电热弯曲梁激励器组件；以及第二接触组件，其以操作方式连接到第二电热弯曲梁激励器组件，第二电热弯曲梁激励器组件和第二接触组件安置成使双稳态组件和反射组件能够从第二稳定配置推进到第一稳定配置。

主权项

一种光学开关，其包括：双稳态组件，其包括一个或一个以上第一梁和一个或一个以上第二梁；反射组件；所述一个或一个以上第一梁从第一支撑件延伸到所述反射组件上的位置；所述一个或一个以上第二梁从第二支撑件延伸到所述反射组件上的所述位置；所述反射组件以操作方式连接到所述双稳态组件；第一电热弯曲梁激励器组件，其从第一电极延伸到第二电极；第一接触组件，其以操作方式连接到所述第一电热弯曲梁激励器组件；所述第一电热弯曲梁激励器组件和所述第一接触组件安置成使所述双稳态组件和所述反射组件能够从第一稳定配置推进到第二稳定配置；第二电热弯曲梁激励器组件，其从第三电极延伸到第四电极；以及第二接触组件，其以操作方式连接到所述第二电热弯曲梁激励器组件；所述第二电热弯曲梁激励器组件和所述第二接触组件安置成使所述双稳态组件和所述反射组件能够从所述第二稳定配置推进到所述第一稳定配置。