用于蓝宝石衬底图形化的纳米压印装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于蓝宝石衬底图形化的纳米压印装置及方法。该装置包括：纳米压印模具，紫外纳米压印用抗蚀剂，蓝宝石衬底，曝光用的紫外光光源。其中，抗蚀剂涂铺于蓝宝石衬底之上，曝光用紫外光光源置于蓝宝石衬底正下方，在纳米压印模具上设有特征型腔，从而构成模具上的特征图形。本发明利用改性氟碳树脂基硬聚合物模具具有非常低的表面能、兼具软、硬模具的优势，以及良好的机械和物理性能，并结合蓝宝石衬底对于紫外光良好的透光性能，实现4英寸以上大尺寸晶圆级纳米图形化蓝宝石低成本、高生产率和规模化制造。本发明也可用于其它透明衬底（如ZnO衬底）的图形化。

主权项

一种用于蓝宝石衬底图形化的纳米压印装置，其特征是，它包括：自上而下依次为：纳米压印模具，紫外纳米压印用抗蚀剂，蓝宝石衬底，曝光用的紫外光光源，其中，抗蚀剂涂铺于蓝宝石衬底之上，在纳米压印模具上设有特征型腔，从而构成模具上的特征图形；所述纳米压印模具采用改性氟碳树脂基硬聚合物材料，它由FEVE 氯乙烯‑乙烯基醚 型氟碳树脂、固化剂、聚丙烯酸改性有机硅树脂按照质量比1：0.27：0.07混合而成；其制作方法采用模铸法制造工艺。