校准装置控制装置以及校准方法

摘要

本发明的校准装置控制装置包括：拍摄单元，利用照相机拍摄分别摄有衬底的表面中的多个区域的多个图像；区域检测单元，基于多个图像，从多个区域中选择检测区域；以及位置对准单元，基于通过该照相机拍摄，且摄有在检测区域中形成的标记的校准用图像，对衬底进行位置对准。因此这样的校准装置控制装置无需为了在该照相机的视野中配置用于位置对准的标记而具有单独的机构，规模减小，能够更容易制造，能够更容易检测有校准标记的区域。

主权项

一种校准装置控制装置，包括：拍摄单元，利用照相机拍摄分别摄有衬底的表面中的多个区域的图像；区域检测单元，基于所述多个图像，从所述多个区域选择检测区域；位置对准单元，基于被所述照相机拍摄、且摄有在所述检测区域中形成的标记的校准用图像，对所述衬底进行位置对准；以及累积运算亮度分布计算单元，基于所述多个图像，分别计算多个累积运算亮度分布，所述区域检测单元在所述多个图像中的第1图像和所述多个图像中的第2图像不同时，从所述多个区域中的摄有所述第1图像的第1区域以及所述多个区域中的摄有所述第2图像的第2区域中，选择所述检测区域，所述多个累积运算亮度分布中的基于一个图像而计算的累积运算亮度分布表示将所述一个图像向一个投影方向进行投影后的累积运算亮度的分布，所述区域检测单元在所述多个累积运算亮度分布中的基于所述第1图像计算的第1累积运算亮度分布、以及所述多个累积运算亮度分布中的基于所述第2图像计算的第2累积运算亮度分布不同时，从所述第1区域和所述第2区域中选择所述检测区域。